The excellent chemical and mechanical properties of SiC single crystal make damage free surface preparation for SiC wafe......

Elements performance is greatly affected by their surface and subsurface integrity,especially for the brittle material.P......

将研磨加工中磨粒与工件表面作用过程近似为受法向载荷和切向载荷共同作用下移动的尖锐压头对表面的作用过程，基于压痕断裂力学理论......

为了提升单晶碳化硅(SiC)材料的抛光效率及表面质量,提出了将传统抛光与磁流变抛光(MRF)相结合的新方法,并对一块直径为100 mm的单......

光学元件的亚表面损伤指的是在加工过程中产生的划痕和裂纹等。在激光的照射下，亚表面损伤会使光场发生变化，并且随着激光照射时间的......

亚表面缺陷的检测和去除对于提高光学元件的激光损伤阈值至关重要。结合全内反射显微技术和数字图像处理技术获得光学元件亚表面缺......

在传统光学加工过程中产生的亚表面损伤（SSD）会降低光学元件的使用性能和寿命，需要对其亚表面损伤进行检测从而在加工过程中加以控制......